RTFIR

„RTFIR“ entwickelt eine neue, kosteneffiziente Fertigungstechnik und Technologieplattform für ungekühlte mikromechanische Ferninfrarot (FIR)- Bildsensoren und erschließt so diesen Schlüsselkomponenten für hochaufgelöste Wärmebilder neue Massenanwendungen. Im Vordergrund steht als Treiber die hochvolumige Anwendung in zukünftigen intelligenten Kfz-
Nachtsichtsystemen zur Verbesserung der Sicherheit von Lebewesen im Straßenverkehr.

Für geringe Sensorkosten setzt RTFIR technologisch konsequent auf Prozesse und Funktionsmaterialien mit durchgängiger CMOS-Fertigungskompatibilität. Opferschichtprozesse für rausch-/stressärmere Funktionsschichten:

• μ-Montagetechniken auf Waferebene
• Integration μ-optischer Komponenten
• Nano-Absorberschichten und Konzepte zur verbesserten thermischen Isolation der Pixel sind Bausteine für hohe Funktionalität und Empfindlichkeit kosteneffizienter FIR-Arrays