SiC-Tech - Lösungen

Die grundlegenden Prozesse zur Abscheidung und Charakterisierung von amorphem und polykristallinem  Siliziumcarbid-Schichten für die Anwendung in Brennraumdruck- und Rußpartikel-Sensoren sind entwickelt.  Ein optimierter LPCVD-Reaktor für  die Abscheidung von polykristallinem SiC befindet sich im Aufbau. Die Sensordesigns sind erarbeitet und per FEM-Simulation geprüft.  Für den Brennraumdrucksensor wurden zielführende AVT-Konzepte mit hohem Kostensenkungspotenzial entwickelt. Ein Funktionsnachweis des Rußpartikelsensors ist erbracht und erfüllte die Erwartungen an die erforderliche Empfindlichkeit.