TEL.: +49 761 386 909-0        |        OFFICE@MICROTEC-SUEDWEST.DE

    • News

       

    25.05.2017

    SONOSYS Megasonic FTF Transducer für Single Substrat Prozesse

    • Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung, in Verbindung mit chemischen Reaktionen, ermöglicht das Ablösen von Partikeln bis in den Nano Bereich von empfindlichen Oberflächen und feinen Strukturen.

      Der FTF-Transducer ist ein hermetisch gekapselter Schwinger aus Kunststoff (PFA) zur Montage über dem rotierenden Substrat. Zur Übertragung der Ultrasonic-/Megasonic Energie muss während des Betriebes immer ein Flüssigkeitsfilm zwischen der Substratoberfläche und der aktiven Transducer-Unterseite vorhanden sein.

      Die Ultrasonic-Megasonic Energie wird homogen mit gleichmäßiger Leistungsverteilung über eine aktive Piezo-Transducerfläche von z. B. 150 x 25 mm auf das Substrat übertragen.

      Weltweit einzigartig: SONOSYS Transducer-Systeme mit patentierten Butterfly-Piezokeramiken erzielen einen 40% höheren Schalldruck bzw. einen bis zu 30% höheren Wirkungsgrad als herkömmliche Systeme.

      Neben den Standard-Ausführungen für die Substratgrößen 100mm, 150mm, 200mm und 300mm, sind kundenspezifische FTF-Transducer hinsichtlich Bauform und Material auf Anfrage möglich.

      Anwendungsgebiete: Prozessunterstützung z.B. beim Reinigen, Ätzen, Lift Off

      Für Versuche steht ein Testsystem auf Mietbasis zur Verfügung.

      Kontakt: SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH; Daimlerstrasse 6, 75305 Neuenbürg
      Telefon: +49 7082 79184 0
      Web: www.sonosys.de

       

    • microTEC Kontakt

      Amandus Bieber
      Marketing

      Tel.: + 49 761 386909-14
      Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!

    • Newsletter

      Sie wollen ab sofort unseren monatlichen E-Mail Newsletter newsupdate erhalten?

      Anmelden 

    • News & Termine veröffentlichen

      Sie haben News, Pressemitteilungen oder Events, die Sie gerne bei uns veröffentlichen würden? Sprechen Sie uns einfach an.