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    Unternehmensname

    Microworks GmbH

    Microworks - die Anlaufstelle für röntgenoptische Mikrokomponenten

    Microworks stellt einzigartig schmale und hohe Mikrostrukturen her. Wir beliefern seit 10 Jahren mit zunehmendem Erfolg Kunden aus den Bereichen Mikromechanik, Mikrooptik, aus der Materialforschung und aus der Medizintechnik. Der Markt der Röntgenbildgebung bietet derzeit die größten Chancen für Microworks. Unsere Entwicklungskompetenz ermöglicht es unseren Kunden neue Konzepte für die geometrische Röntgenoptik und die interferometrische Optik zu testen und in Endprodukte als Strahlformelemente oder als Sensoren zu integrieren. Unsere Produkte decken hierbei einen Energiebereich zwischen 1eV und 100keV ab (Wellenlängenbereich zwischen 1µm und 0.01nm). Zum Einsatz kommen vornehmlich Strukturen aus Gold und Nickel.

    Kernkompetenzen

    Lithographie
    Unsere Technologie verwendet eine Belichtung mit Röntgenlicht, um Strukturen einer Maske in ein hohes Polymer zu übertragen (Röntgenlithographie). Anschließend werden die Polymerstrukturen in einem galvanischen Schritt mit einem Metall gefüllt. In der Fachwelt ist diese Technologie unter LIGA (Röntgenlithographie und Galvanik) bekannt. Neben unserer Kernkompetenz Röntgenlithographie verwenden wir auch Laserlithographie, UV-Lithographie und E-Beam-Lithographie mit hohem Sachverstand.
    Mikrogalvanik
    Goldgalvanik und Nickelgalvanik stellen unsere weiteren Kernkompetenzen dar. Beide Materialien scheiden wir routinemäßig bis zu einer Substratgröße von 8 Zoll ab. Typische Materialhöhen reichen von einzelnen Mikrometer bis hin zu 500µm (Gold) und einigen mm (bei Nickel).

    Wertschöpfungskette:

    • Entwickler
    • Produktion

    Technologie:

    • Foundry
    • Mikroaktorik
    • Mikromechanik
    • Mikromontage
    • Mikrooptik
    • Nanotechnik
    • RF-MEMS

    Branche:

    • Automatisierung
    • Sensor- Mess- & Regeltechnik
    • Informationstechnik und Telekommunikation
    • Maschinen und Anlagenbau
    • Medizintechnik
    • Optische Industrie

    Hauptgeschäftssitz

    Schnetzlerstr. 9
    76137 Karlsruhe
    Deutschland
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    Ansprechpartner

    Name: Joachim Schulz
    Abteilung: Geschäftsführung
    Tel.: +49 (0) 721 / 60824438
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    Weitere Informationen

    Niederlassungen (Orte): Eggenstein
    Mitarbeiterzahl: 6

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    • microTEC Kontakt

      Amandus Bieber
      Marketing

      Tel.: +49 761 386909-14
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