Dr. Klaus Zieger
Front-End Production - Process & Tools– United Monolithic Semiconductors GmbH
Dr. Klaus Zieger studierte Physik an der Universität Ulm mit Schwerpunkt Halbleiterphysik und promovierte an der Universität Stuttgart zum Thema MOCVD- III/V-Solarzellen auf Fremdsubtraten. An der Hochschule für Technik in Stuttgart war er mehrere Jahre als Lehrbeauftragter für technische Optik tätig.Seit 1996 arbeitet er bei der United Monolithic Semiconductors (UMS) GmbH in Ulm. Bis zum Jahr 2010 verantwortete er den Bereich Lithographie; seit 2010 ist er für die die Bereiche Implantation, Metallisierung und Plasmatechnik zuständig. Ein Schwerpunkt seiner Tätigkeit ist die Beschaffung und Einführung neuer Produktionsanlagen für die III/V-Halbleiterfertigung der UMS GmbH in enger Abstimmung mit der Technologieentwicklung.
Präsentation:Herausforderungen zur Nachhaltigkeit bei einer kleinvolumigen Halbleiterfertigung am Beispiel von fluorhaltigen Ätzgasen (PFC)
Die UMS GmbH verarbeitet III/V-Halbleiter für verschiedenste Anwendungen in der Telekommunikation, Automobilindustrie, Sensorik sowie für die Verteidigungs- und Satellitenkommunikation. Bei der Verarbeitung von Halbleitern ist es wichtig, die Reduzierung von Treibhausgasen in ihre Energieeffizienzstrategien zu integrieren. In der Halbleiterfertigung, die sehr stark kundenspezifisch und im kleinvolumigen Maßstab produziert, stellen sich hierbei andere Herausforderungen als in Produktionsstätten, welche in großen Mengen die Wafer verarbeiten. Am Beispiel zur Reduktion von fluorhaltigen Ätzgasen (PFC) sollen diese besonderen Fragestellungen zur Nachhaltigkeit vorgestellt werden.