Epiray GmbH
Epiray GmbH baut und vertreibt Vakuumanlagen für die thermische Laserepitaxie (thermal laser epitaxy, TLE). Dieses neue, von uns entwickelte Verfahren ermöglicht die Herstellung dünner, kristalliner Schichten mit atomarer Auflösung, insbesondere bei hohen und sehr hohen Temperaturen. Es verwendet Laser für alle wesentlichen Prozessschritte und eröffnet damit neue Möglichkeiten für die Herstellung von Quantenbauelementen.