Mikromechanische Systeme wie Beschleunigungs- und Drehratensensoren enthalten komplexe, als Silizium-Mikromechanik realisierte, bewegliche Komponenten, die hermetisch von der Umgebungsatmosphäre abgeschirmt und für optimale Betriebsbedingungen evakuiert sind. Die während der Systementwicklung wichtige direkte optische Messung des dynamischen Verhaltens der Mikromechanik erforderte bislang eine aufwendige Entkappung des Sensors und Messung in Verbindung mit sogenannten Vakuum-Probern.

Mit dem neuen MSA-650 IRIS Micro System Analyzer von Polytec können die MEMS-Entwickler nun direkt durch die Siliziumkappe des Bauelementes hindurch die Bewegung der MEMS-Komponenten hochaufgelöst in Echtzeit erfassen – bei Frequenzen bis zu 25 MHz. Ermöglicht wird dies durch eine innovative, patentierte Messtechnik mittels eines speziellen Infrarot-Interferometers. Die integrierte IR-Kamera schaut ebenfalls durch die Kappe hindurch, liefert hochaufgelöste Bilder der MEMS-Mechanik und ermöglicht mittels stroboskopischer Videomikroskopie eine Messung der planaren Bewegungskomponente („In-Plane“).

Die Hauptvorteile des neuen MSA sind die schnelle Messung unter den tatsächlichen Betriebsbedingungen ohne aufwendige Präparation sowie die exzellente Datenqualität aufgrund der kurzkohärent-interferometrischen Unterdrückung von Störeinflüssen.

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