Flächenhafte Messung von Mikrostrukturen durch die intakte Siliziumverkapselung

Der Micro System Analyzer MSA-650 IRIS von Polytec ermöglicht die Charakterisierung der Bauteildynamik in gekapselten Mikrosystemen. Das patentierte Interferometerdesign kombiniert eine kurzkohärente SLD-Lichtquelle zur effektiven Selektion der aktiven Bauteilebene mit einer speziellen IR-Kamera. Es ist damit das erste optische Messgerät zur hochpräzisen und flächenhaften Erfassung der Bauelementedynamik an MEMS und Mikrostrukturen durch die intakte Siliziumverkapselung.

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