AP&S bei der microTEC Clusterkonferenz 2026

Simon Gräfner von AP&S über Simulation als Schlüssel zur Prozessoptimierung

Die Anforderungen an Nassprozessanlagen steigen durch neue Technologien in der Halbleiterbranche rapide an. Dies führt zu einigen Herausforderungen. Bspw. muss die Funktionsweise immer effizienter, stabiler und sicherer sein – und das bei einem steigenden Durchsatz und anspruchsvolleren Produkten. Um diesen Ansprüchen gerecht zu werden, müssen die Vorgänge in der gesamten Anlage im Hinblick auf eine nachhaltige Entwicklung immer besser verstanden und entsprechend angepasst werden. Hierunter gehören auch physikalisch-chemische Vorgänge, die meist sehr komplex sind und viele wechselwirkende Effekte zeigen. Diese lassen sich mit herkömmlichen Methoden häufig nur durch aufwändige Versuche, komplizierte Messungen oder auf Erfahrung beruhenden Annahmen untersuchen.

Durch den Einsatz von numerischen Simulationen können solche Analysen deutlich schneller und effektiver bereits in der Entwicklungs- und Konzeptionierungsphase durchgeführt werden. Die Bewertung der Systeme kann hierdurch im Vorfeld ohne reale Anlage erfolgen. Weiterhin ist es möglich, sowohl neue als auch frühere ungeklärte Fragestellungen mithilfe des mathematischen Blickwinkels genauer zu untersuchen. Die darauffolgenden Validierungen mit vorhandenen Systemen oder nach deren Produktion zeigten eine sehr gute Übereinstimmung zwischen den berechneten und vorliegenden Vorgängen.          

Erste umgesetzte Projekte zeigten bereits das außerordentliche Potential der numerischen Analysen und Optimierungen: Verdopplung des Anlagendurchsatzes, Erhöhung der Badlebenszeit, effizientere und stabilere Prozesse. Die Ergebnisse ermöglichen den Kunden enorme Kosteneinsparungen und bringen die Anlagen und Prozesse auf ein neues Produktionsniveau. Dies verbessert nicht nur bestehende Produkte, sondern ermöglicht auch den Einsatz bei neuen Halbleitertechnologien.

Erleben Sie Simon Gräfner auf der Clusterkonferenz mit seinem Vortrag zu „High-performance through simulation – the way to tailor your process“.

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