Die schonende Abreinigung kleinster Partikel ist heute in vielen Industriebereichen unerlässlich.
Hierzu bietet SONOSYS® kundenorientierte und zukunftsweisende Ultrasonic-/Megasonic-Systemlösungen im Frequenzbereich von 400 kHz bis 5 MHz an. 20 Jahre Erfahrung in Entwicklung und Produktion, sowie die Zusammenarbeit mit weltweit renommierten Forschungs-Instituten, machen SONOSYS® zum Kompetenzpartner in Sachen Feinst-Reinigung.

Megasonic-System mit Megasonic Düse mit einer Frequenz von 600 kHz.

Der Transducer in der Düse erzeugt eine Ultraschall-Welle, die über fließendes Medium (z.B. DI-Wasser) auf eine Oberfläche übertragen wird. Dieses Megasonic Düsensystem ermöglicht einen kontaktlosen Reinigungsprozess mit stets partikelfreiem Reinigungsmedium.
Mit den bisherigen Frequenzen von 1 MHz bis 5 MHz ist die äußerst effiziente Reinigung von z.B. Halbleiter-Wafern bis zu einer Partikelgröße von 34 nm möglich. Bei der Frequenz von 600 kHz tritt im Flüssigkeitsstrahl eine deutlich stärkere Kavitation auf und ermöglicht die Abreinigung größerer und hartnäckigerer Verunreinigungen. Eine Vielzahl neuer Anwendungsgebiete erschließt sich, z.B. in der Mikrosystemtechnik, Optik, Medizintechnik und Sensorik.

Für Reinigungsversuche steht ein Testsystem auf Mietbasis zur Verfügung.

Kontakt: SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH; Daimlerstrasse 6, 75305 Neuenbürg
Telefon: +49 7082 79184 0;
Web: www.sonosys.de