Die durch Megasonic-Energie erzeugte Kavitation und Mikroströmung, in Verbindung mit chemischen Reaktionen, ermöglicht das Ablösen von Partikeln bis in den Nano Bereich von empfindlichen Oberflächen und feinen Strukturen.

Der FTF-Transducer ist ein hermetisch gekapselter Schwinger aus Kunststoff (PFA) zur Montage über dem rotierenden Substrat. Zur Übertragung der Ultrasonic-/Megasonic Energie muss während des Betriebes immer ein Flüssigkeitsfilm zwischen der Substratoberfläche und der aktiven Transducer-Unterseite vorhanden sein.

Die Ultrasonic-Megasonic Energie wird homogen mit gleichmäßiger Leistungsverteilung über eine aktive Piezo-Transducerfläche von z. B. 150 x 25 mm auf das Substrat übertragen.

Weltweit einzigartig: SONOSYS Transducer-Systeme mit patentierten Butterfly-Piezokeramiken erzielen einen 40% höheren Schalldruck bzw. einen bis zu 30% höheren Wirkungsgrad als herkömmliche Systeme.

Neben den Standard-Ausführungen für die Substratgrößen 100mm, 150mm, 200mm und 300mm, sind kundenspezifische FTF-Transducer hinsichtlich Bauform und Material auf Anfrage möglich.

Anwendungsgebiete: Prozessunterstützung z.B. beim Reinigen, Ätzen, Lift Off

Für Versuche steht ein Testsystem auf Mietbasis zur Verfügung.

Kontakt: SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH; Daimlerstrasse 6, 75305 Neuenbürg
Telefon: +49 7082 79184 0
Web: www.sonosys.de