Festo bietet mit den Modellen VEFC und VEAD zwei hochpräzise Massendurchflussregler, die je nach Einsatzgebiet unterschiedliche Schwerpunkte setzen – von extrem kompakter Bauweise bis hin zu maximaler Partikelfreiheit im Reinraum.

VEFC – Dynamik und Präzision im Mini-Format

Der VEFC zählt mit nur 24 mm Breite zu den kompaktesten Massendurchflussreglern am Markt.
Er regelt inertgasbasierte Prozesse mit ± 2,5 % Genauigkeit, einer Wiederholgenauigkeit von ± 0,75 % und einer Reaktionszeit unter 100 ms.

Technologie-Highlights

• Energieeffiziente Piezoventile
• DSP-gesteuerter, geschlossener Regelkreis
• Manipulationssichere, digitale Steuerung
• Ideal für Elektronik-, Lebensmittel- und Batterieproduktion

Besonders in der Halbleiterfertigung optimiert der VEFC Stickstoff-Purgesysteme (Pre-Blowing, Pre-Purge, Process-Purge) – spart Gas, verkürzt Prozesszeiten und sichert konstante Qualität.

VEAD – Reinraumtauglich und extrem partikelarm

Der VEAD wurde speziell für CDA (Clean Dry Air) und Inertgase entwickelt und ist optimal auf Reinraumanforderungen abgestimmt.
Das Piezoventil VEMR arbeitet nahezu verschleißfrei und erzeugt weniger als 1 Partikel ≥ 0,1 µm pro Schaltspiel – 80 % weniger als konventionelle Lösungen.

Produkt-Highlights

• Reduzierte Total Cost of Ownership – vormontierte Einheit spart Montage- & Prüfzeit
• Kompakt & leckagesicher – nur 2 pneumatische Anschlüsse
• Hohe Präzision – Wiederholgenauigkeit ± 0,25 %
• Sehr geringer Energieverbrauch – < 1 W (80 % Einsparung)
• Lange Lebensdauer – kein Abrieb durch Reibung
• Ideal für FOUP-Waferlagerung & Overhead-Transportsysteme

Die geschlossene Regelung sorgt für ein stabiles, lineares Durchflussverhalten ohne Hysterese. Für den sicheren Wafertransport versorgt der VEAD kontinuierlich mit inertem Stickstoff und verhindert Oxidation.

Weiterführende Informationen:

Produktseite VEAD → Zur Webseite
Produktseite VEFC → Zur Webseite

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