FZI Forschungszentrum Informatik

Als unabhängige Stiftung steht das FZI Forschungszentrum Informatik seit mehr als 40 Jahren für angewandte Spitzenforschung im Bereich der Informatik und ihrer Anwendungsfelder. Das FZI erforscht und entwickelt interdisziplinär für Konzepte, Software-, Hardware- und Systemlösungen und setzt die gefundenen Lösungen prototypisch um. Für seine Partner aus Industrie, Wirtschaft, Wissenschaft, Verbänden und öffentlicher Hand ist das FZI Forschungs-, Ausbildungs- und Transfereinrichtung.

Steinbeis-Transferzentrum Oberflächen- und Beschichtungstechnik

Das Steinbeis-Transferzentrum Oberflächen- und Beschichtungstechnik in Rottweil bietet Dienstleistungen rund um Plasma- und Dünnschichttechnik (ALD, PVD, PECVD), Parylene-Beschichtungen, Oberflächen- und Grenzflächenanalytik, innovative Reinigungsverfahren, Analytik und Auslagerungstests. Wir begleiten Projekte von der Idee bis zur Produktreife und bieten Beratung, Schulung und praxisnahe Lösungen für verschiedene Branchen.

Hochschule Furtwangen

Die Hochschule Furtwangen (The Black Forest University) zählt mit rund 4500 Studierenden in 4 Fakultäten zu den großen Hochschulen für Angewandte Wissenschaften in Baden-Württemberg. In 6 Forschungsschwerpunkten und 14 Forschungsinstituten entstehen an der HFU in Zusammenarbeit mit Partnern aus Industrie und Wissenschaft anwendungsnahe Innovationen. Im Institut für Mikrosystemtechnik der HFU werden neue Mikrosysteme, zugehörige Modellierungs- und Herstellungsverfahren und Methoden zur Charakterisierung erforscht.

Endress + Hauser BioSense

Unser Ziel bei Endress+Hauser BioSense ist es, Sie bei der schnellen und frühzeitigen Erkennung von Krankheits- und Verderbniserregern sowie mikrobieller Kontaminationen zu unterstützen, um Produktsicherheit, Hygiene, Einhaltung gesetzlicher Vorgaben und Nachhaltigkeit zu gewährleisten. Wir bringen molekularbiologische und mikrobiologische Analytik in Laborqualität direkt zu Ihnen vor Ort, getreu unseren Prinzipien: einfach – schnell – vor Ort

Innovative Sensor Technology IST AG

Mit mehr als 30 Jahren Erfahrung ist die Innovative Sensor Technology IST AG einer der global führenden Anbieter von physikalischen, chemischen und biologischen Sensoren. iST ist auf die Entwicklung und Herstellung von Temperatursensoren, thermischen Strömungssensoren, Feuchtesensoren und -modulen, Leitfähigkeitssensoren, Biosensoren und peristaltischen Mikropumpen spezialisiert. Neben Standardsensoren bietet die IST AG kundenspezifische Anpassungen der Sensoren auf individuelle Applikationsbedürfnisse an – bis hin zur gemeinsamen Neuentwicklung von Technologien.

TrueDyne

Höchste Messgenauigkeit auf kleinster Baugrösse: Dies sind die Alleinstellungsmerkmale der TrueDyne Sensors AG. Die entwickelte Dichte- und Viskositätssensorik eröffnet neue Möglichkeiten in der industriellen Prozessüberwachung. Die hochpräzisen, robusten MEMS Sensoren der TrueDyne Sensors AG erlauben einen direkten Blick in den Prozess, womit teure und langwierige Labormessungen auf ein Minimum reduziert werden können.

Dr. Martin Zimmermann

Bereichsleiter Technologie– IMS Chips

Martin Zimmermann leitet seit 2016 den Technologiebereich am IMS CHIPS. Seit 2015 prägt er die nachhaltige Transformation unseres Technologiebereichs. Als promovierter Physiker denkt er entlang der gesamten Prozesskette und verbindet technologische Innovationskraft mit ökologischer Verantwortung. Was er privat vorlebt, setzt er beruflich konsequent um – mit spürbaren Einsparungen und Prozessoptimierungen. So wird aus dem Cleanroom ein Greenroom und die eigene Arbeit zum Beitrag für eine ressourcenschonende Zukunft.

Präsentation: From Clean Room to Green Room

Reinräume sind unerlässlich, um die strengen Produktionsbedingungen in Spitzentechnologiesektoren der Mikroelektronik und Halbleitertechnik sowie in der Pharma- und Biotechnologie aufrechtzuerhalten. Allerdings gehören sie auch zu den energieintensivsten Einrichtungen pro Quadratmeter, da kontinuierliche Filtration, Luftwechsel und Klimaregelung erforderlich sind. In diesem Vortrag „From Clean Room to Green Room“ zeigen wir, wie wir Strategien zur Verbesserung der Energieeffizienz in unserem 1400 Quadratmeter großen Reinraum für Halbleitertechnologie umgesetzt haben – ohne dabei Kompromisse bei Vorschriften oder Leistung einzugehen. Durch die Einführung adaptiver Kontrollsysteme und die schrittweise Erneuerung der HLK-Technik (Heizung, Lüftung, Klimatisierung) mit energieeffizienteren Lösungen konnten wir im Zeitraum von 2016 bis 2024 den Energieverbrauch deutlich senken – um 5 TWh beim Strom, 12 TWh bei der Kühlung und 3 TWh beim Heizen. Mit dem Übergang zu einer umweltfreundlicheren, effizienteren Reinrauminfrastruktur kann unsere Branche sowohl wirtschaftliche als auch ökologische Vorteile erzielen – und so Clean Rooms in Green Rooms verwandeln.

Carolina Halbwachs

Executive Assistenz und Project Office zur Nachhaltigkeitsleiterin – Infineon 

Carolina Halbwachs hat Internationale Betriebswirtschaft mit Fokus auf Nachhaltigkeit und Operations an der NOVA SBE studiert. Nach ihrem Einstieg bei Infineon als Trainee in der Supply Chain, wo sie verschiedene Abteilungen durchlaufen hat, ist sie zum Global Sustainability-Team gewechselt. Seit August 2024 ist sie Teil des Sustainability-Teams und hat sich seitdem mit mehreren Themen beschäftigt. Momentan liegt ihr Schwerpunkt auf der Strategieentwicklung und Kommunikation.

Präsentation: Nachhaltigkeit bei Infineon und die Rolle der Circular Economy

Infineon verfolgt einen ganzheitlichen Nachhaltigkeitsansatz mit dem Ziel, bis 2030 CO₂-neutral zu sein und die Emissionen bis 2025 um 70 % (Basisjahr 2019) zu senken. Externe Ratings wie MSCI ESG und der EcoVadis-Platinstatus bestätigen dieses Engagement. Mit innovativen, energieeffizienten Produkten und CO₂-Bilanzen auf Produktebene (PCF) treiben wir nachhaltige Technologien aktiv voran. Auch mit der Circular Economy setzen wir uns intensiv auseinander – erste konkrete Ansätze und Beispiele entlang der Wertschöpfungskette sind bereits umgesetzt und zeigen das Potenzial für Ressourcenschonung und resiliente Lieferketten.

Dr. Klaus Zieger

Front-End Production  - Process & Tools– United Monolithic Semiconductors GmbH

Dr. Klaus Zieger studierte Physik an der Universität Ulm mit Schwerpunkt Halbleiterphysik und promovierte an der Universität Stuttgart zum Thema MOCVD- III/V-Solarzellen auf Fremdsubtraten. An der Hochschule für Technik in Stuttgart war er mehrere Jahre als Lehrbeauftragter für technische Optik tätig.Seit 1996 arbeitet er bei der United Monolithic Semiconductors (UMS) GmbH in Ulm. Bis zum Jahr 2010 verantwortete er den Bereich Lithographie; seit 2010 ist er für die die Bereiche Implantation, Metallisierung und Plasmatechnik zuständig. Ein Schwerpunkt seiner Tätigkeit ist die Beschaffung und Einführung neuer Produktionsanlagen für die III/V-Halbleiterfertigung der UMS GmbH in enger Abstimmung mit der Technologieentwicklung.

Präsentation:Herausforderungen zur Nachhaltigkeit bei einer kleinvolumigen Halbleiterfertigung am Beispiel von fluorhaltigen Ätzgasen (PFC)

Die UMS GmbH verarbeitet III/V-Halbleiter für verschiedenste Anwendungen in der Telekommunikation, Automobilindustrie, Sensorik sowie für die Verteidigungs- und Satellitenkommunikation. Bei der Verarbeitung von Halbleitern ist es wichtig, die Reduzierung von Treibhausgasen in ihre Energieeffizienzstrategien zu integrieren. In der Halbleiterfertigung, die sehr stark kundenspezifisch und im kleinvolumigen Maßstab produziert, stellen sich hierbei andere Herausforderungen als in Produktionsstätten, welche in großen Mengen die Wafer verarbeiten. Am Beispiel zur Reduktion von fluorhaltigen Ätzgasen (PFC) sollen diese besonderen Fragestellungen zur Nachhaltigkeit vorgestellt werden.

Dr. Chris Eckstein

Wissenschaftlicher Mitarbeiter– Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, IZM

Chris Eckstein ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) in Berlin, Deutschland. Als Teil der Sustainable Networks and Computing Group ist er in der angewandten Forschung zur Umweltbewertung von IKT-Systemen tätig. Mit einem Schwerpunkt auf Halbleiterfertigung und Rechenzentren arbeitet er an der Entwicklung, Bewertung und Standardisierung von Methoden für Lebenszyklusanalysen um eine Kreislaufwirtschaft mit digitalen Produktpässen (DPPs) und digitalen Zwillingen in der Industrie zu fördern. Er hat einen Hintergrund in Umweltwissenschaften mit Promotion in Technologien für Nanosysteme, Bioengineering und Energie mit weiterer Erfahrungen im Bereich der Nanoökotoxikologie und des Umwelt-Compliance-Managements.

Präsentation:Enabling Sustainable Innovations in the Semiconductor Sector

Der Halbleitersektor spielt eine Schlüsselrolle bei der Verringerung des ökologischen Fußabdrucks von IKT-Systemen. GreenICT@FMD ist ein Wegbereiter für die gesamte IKT-Landschaft, indem es als Schnittstelle zur Industrie dient und Reinräume zur Demonstration und Bewertung einer nachhaltigen Halbleiterfertigung verwaltet. Durch die Bereitstellung von Methoden, Werkzeugen, Bildungsangeboten und Plattformen für die Zusammenarbeit wird die industrielle Umsetzung von Umweltschutzmaßnahmen beschleunigt. Es wird ein Prüfstand angeboten für industrielle Anwendungen zur prozessbasierten Bewertung und Verringerung des CO2-Fußabdrucks, zur Optimierung des Fabrikbetriebs durch werkzeugspezifische Energieprotokollierung, zur Zukunftssicherung von Technologien durch Reinigung und Verringerung schädlicher Abgase und zum Ersatz von verwendeten Materialien, Chemikalien und Gasen.