Dr. Klaus Zieger

Front-End Production  - Process & Tools– United Monolithic Semiconductors GmbH

Dr. Klaus Zieger studierte Physik an der Universität Ulm mit Schwerpunkt Halbleiterphysik und promovierte an der Universität Stuttgart zum Thema MOCVD- III/V-Solarzellen auf Fremdsubtraten. An der Hochschule für Technik in Stuttgart war er mehrere Jahre als Lehrbeauftragter für technische Optik tätig.Seit 1996 arbeitet er bei der United Monolithic Semiconductors (UMS) GmbH in Ulm. Bis zum Jahr 2010 verantwortete er den Bereich Lithographie; seit 2010 ist er für die die Bereiche Implantation, Metallisierung und Plasmatechnik zuständig. Ein Schwerpunkt seiner Tätigkeit ist die Beschaffung und Einführung neuer Produktionsanlagen für die III/V-Halbleiterfertigung der UMS GmbH in enger Abstimmung mit der Technologieentwicklung.

Präsentation:Herausforderungen zur Nachhaltigkeit bei einer kleinvolumigen Halbleiterfertigung am Beispiel von fluorhaltigen Ätzgasen (PFC)

Die UMS GmbH verarbeitet III/V-Halbleiter für verschiedenste Anwendungen in der Telekommunikation, Automobilindustrie, Sensorik sowie für die Verteidigungs- und Satellitenkommunikation. Bei der Verarbeitung von Halbleitern ist es wichtig, die Reduzierung von Treibhausgasen in ihre Energieeffizienzstrategien zu integrieren. In der Halbleiterfertigung, die sehr stark kundenspezifisch und im kleinvolumigen Maßstab produziert, stellen sich hierbei andere Herausforderungen als in Produktionsstätten, welche in großen Mengen die Wafer verarbeiten. Am Beispiel zur Reduktion von fluorhaltigen Ätzgasen (PFC) sollen diese besonderen Fragestellungen zur Nachhaltigkeit vorgestellt werden.

Dr. Chris Eckstein

Wissenschaftlicher Mitarbeiter– Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, IZM

Chris Eckstein ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) in Berlin, Deutschland. Als Teil der Sustainable Networks and Computing Group ist er in der angewandten Forschung zur Umweltbewertung von IKT-Systemen tätig. Mit einem Schwerpunkt auf Halbleiterfertigung und Rechenzentren arbeitet er an der Entwicklung, Bewertung und Standardisierung von Methoden für Lebenszyklusanalysen um eine Kreislaufwirtschaft mit digitalen Produktpässen (DPPs) und digitalen Zwillingen in der Industrie zu fördern. Er hat einen Hintergrund in Umweltwissenschaften mit Promotion in Technologien für Nanosysteme, Bioengineering und Energie mit weiterer Erfahrungen im Bereich der Nanoökotoxikologie und des Umwelt-Compliance-Managements.

Präsentation:Enabling Sustainable Innovations in the Semiconductor Sector

Der Halbleitersektor spielt eine Schlüsselrolle bei der Verringerung des ökologischen Fußabdrucks von IKT-Systemen. GreenICT@FMD ist ein Wegbereiter für die gesamte IKT-Landschaft, indem es als Schnittstelle zur Industrie dient und Reinräume zur Demonstration und Bewertung einer nachhaltigen Halbleiterfertigung verwaltet. Durch die Bereitstellung von Methoden, Werkzeugen, Bildungsangeboten und Plattformen für die Zusammenarbeit wird die industrielle Umsetzung von Umweltschutzmaßnahmen beschleunigt. Es wird ein Prüfstand angeboten für industrielle Anwendungen zur prozessbasierten Bewertung und Verringerung des CO2-Fußabdrucks, zur Optimierung des Fabrikbetriebs durch werkzeugspezifische Energieprotokollierung, zur Zukunftssicherung von Technologien durch Reinigung und Verringerung schädlicher Abgase und zum Ersatz von verwendeten Materialien, Chemikalien und Gasen.

Hahn-Schickard

Hahn-Schickard entwickelt intelligente Produkte mit Mikrosystemtechnik: von der ersten Idee über die Fertigung bis zum finalen Produkt – branchenübergreifend. Der Forschungs- und Entwicklungsdienstleister ist mit seinen Instituten an vier Standorten in Baden-Württemberg vertreten: in Stuttgart, Villingen-Schwenningen, Freiburg und Ulm. In vertrauensvoller Zusammenarbeit mit der Industrie realisiert Hahn-Schickard innovative Produkte und entwickelt Technologien in den Bereichen Sensorik, intelligente eingebettete Systeme für das Internet der Dinge, künstliche Intelligenz, Lab-on-a-Chip und Analytik sowie Aufbau- und Verbindungstechnik und elektrochemische Energiesysteme. Das Angebot umfasst die Herstellung von kleineren und mittleren Serien sowie die Überleitung in die Großserienfertigung.

IMTEK

Das IMTEK an der Universität Freiburg ist ein weltweit führendes Forschungszentrum für Mikrosystemtechnik. Wir decken alle Facetten des Fachgebiets ab: Biomedizinische Mikrosysteme, Intelligente integrierte Mikrosysteme, Intelligente Materialien & bioinspirierte Systeme sowie Photonik. Wir bilden Ingenieur*innen aus, die technische und gesellschaftliche Herausforderungen lösen. Unsere ausgezeichnete Forschung, unter anderem im CHE-Ranking 2022, führt zu wegweisenden Publikationen, Patenten und Ausgründungen. Werden Sie Teil unserer Vision als Student*in, Doktorand*in, Forschungs- oder Industriepartner.

Microtec Academy

Mit der Microtec Academy im Leitprojekt skills4chips entsteht eine bundesweite Bildungsakademie, die Ausbildungsstandorte vernetzt und innovative Qualifizierungswege schafft. Die Akademie bietet flexible Lernformate für unterschiedliche Zielgruppen – von Berufseinsteiger:innen bis erfahrenen Fachkräften. Mit der nationalen Bildungsakademie entsteht eine zentrale Anlaufstelle für Ausbildung, Fort- und Weiterbildung sowie eine Vernetzungsstelle für relevante Akteure aus Forschung, Industrie und Bildung. 

Ensinger GmbH

Das 1966 gegründete Unternehmen hat seinen Hauptsitz in Nufringen und mehr als 2.500 Mitarbeiter an 34 Standorten. EMST (Ensinger Microsystems Technology): Mikrosysteme neu gedacht. Als weltweit erster Hersteller kombinieren wir die MEMS -Technologie mit den vorteilhaften Eigenschaften von Hochleistungskunststoffen. Die neu entwickelte Technologie ermöglicht funktionalisierbare, integrierbare und ganz individuelle Lösungen ohne komplexe Verfahren und aggressive Chemikalien.

Aussteller

Prof. Dr. Tobias Hoßfeld

Leiter des Lehrstuhl für Kommunikationsnetze – Universität Würzburg

Tobias Hoßfeld ist seit 2018 Professor am Lehrstuhl für Kommunikationsnetze an der Universität Würzburg. Von 2014 bis 2018 war er Leiter des Lehrstuhls "Modellierung adaptiver Systeme" an der Universität Duisburg-Essen, Deutschland. Er wurde unter anderem mit dem Fred W. Ellersick Prize 2013 (IEEE Communications Society) und dem VDE ITG Award 2024 ausgezeichnet. Er ist Mitglied des Editorial Board von IEEE Communications Surveys & Tutorials, Springer Quality and User Experience, ACM SIGMM Records und gewählter Vorsitzender der ITG/VDE-Fachgruppe "Kommunikationsnetze und -systeme" innerhalb der VDE ITG. 

Präsentation:Innovation von Chips bis hin zu Systemen: Auf zu einer nachhaltigen IKT-Zukunft!

IKT ist das Rückgrat der modernen Gesellschaft und umfasst Rechenzentren, KI, Netze und globale Konnektivität - mit Halbleitern und Chips als Kernstück. Mit dem Wachstum der IKT steigt auch der Bedarf an Nachhaltigkeit. Was können wir von IKT-Innovationen lernen, und wie können sie zu nachhaltigeren Halbleitern beitragen? Wir müssen den (eingebetteten und betrieblichen) Fußabdruck, aber auch den Handabdruck und den geschaffenen Wert bewerten. Metriken und Modelle, insbesondere für die Energieeffizienz, ermöglichen Verbesserungen, während Innovationen, von der Herstellung bis zum KI-gestützten Monitoring, die Nachhaltigkeit fördern. Doch Technologie allein reicht nicht aus: Menschen und Bildung sind der Schlüssel zu einer dauerhaften Wirkung.

Gerd Batereau-Neumann

Head of Global Quality Management, Environmental Management Representative – Swissbit Germany AG

Gerd Batereau-Neumann hat 1994 das Studium Elektrotechnik mit der Vertiefungsrichtung Nachrichtentechnik an der RWTH Aachen mit dem Diplom abgeschlossen. Nach vielen Jahren in unterschiedlichen Bereichen des Qualitätswesens und verschiedensten Branchen ist er seit 2016 bei der Swissbit Germany AG neben der Leitung Qualitätsmanagement auch für das Umweltmanagement und Themen rund um Nachhaltigkeit verantwortlich.

Präsentation: Entwicklung eines Systems zur Berechnung des Product Carbon Footprints. 

Als Halbleiterhersteller ohne eigenes Frontend (fabless) stehen wir zwischen den ersten Kunden, die von uns Angaben zum Product Carbon Footprint fordern, sowie unseren Lieferanten, die uns diese Daten noch nicht liefern können. Um bei einem Produktportfolio von ungefähr 2.500 aktiven Produkten trotzdem auf Anfrage eine Abschätzung geben zu können, haben wir uns eine Systematik entwickelt, wie wir produktspezifisch die CO2-Emissionen für den gesamten Produktlebenszyklus ermitteln können.